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退火機(jī)操作規(guī)程

發(fā)布時(shí)間：

2021-07-31

退火機(jī)是一種用于制造半導(dǎo)體器件的工藝，包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設(shè)計(jì)的。晶片可以被加熱以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或晶片襯底界面，密集沉積薄膜，改變生長薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，將摻雜劑從一個(gè)薄膜移動(dòng)或轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜，或者從薄膜進(jìn)入晶片襯底。退火機(jī)的操作規(guī)則是什么？

退火機(jī)是一種用于制造半導(dǎo)體器件的工藝，包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設(shè)計(jì)的。晶片可以被加熱以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或晶片襯底界面，密集沉積薄膜，改變生長薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，將摻雜劑從一個(gè)薄膜移動(dòng)或轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜，或者從薄膜進(jìn)入晶片襯底。退火機(jī)的操作規(guī)則是什么？

退火機(jī)操作規(guī)程

退火機(jī)操作程序:

一、裝退火機(jī)前的檢查和準(zhǔn)備

1.檢查冷卻循環(huán)水系統(tǒng)是否正常，進(jìn)、回水門是否打開。流經(jīng)循環(huán)風(fēng)機(jī)和爐門的冷卻水是否暢通、有無泄漏，冷卻水壓力是否達(dá)到0.1 ~ 0.3 MP，水溫是否低于25℃，水量是否合適。

2.檢查風(fēng)壓系統(tǒng)是否正常，管道是否泄漏，風(fēng)壓是否達(dá)到0.4 ~ 0.6 MP，爐門氣缸工作是否正常。

3、檢查退火機(jī)電氣設(shè)備、儀表工作是否正常，熱電偶是否完好，有無短路現(xiàn)象，測(cè)溫是否準(zhǔn)確。

4.檢查退火機(jī)爐門升降機(jī)構(gòu)是否正常工作，鏈條和鋼絲繩是否損壞或斷裂。爐門升降不應(yīng)有卡阻或碰撞，機(jī)構(gòu)必須靈活，爐門保險(xiǎn)銷能自由伸縮，上下行程開關(guān)能靈敏可靠地工作。

5.檢查循環(huán)風(fēng)機(jī)和吹風(fēng)風(fēng)機(jī)的軸承是否潤滑良好，轉(zhuǎn)動(dòng)是否正常，有無噪音。

6.清除退火機(jī)爐子周圍的障礙物和可燃物。清理爐膛、鋁卷、小車和小車軌道中的鋁屑和污垢。

二、退火機(jī)進(jìn)爐操作規(guī)程

1.裝退火機(jī)前，根據(jù)生產(chǎn)工藝卡的要求，認(rèn)真核對(duì)合金牌號(hào)、批號(hào)、規(guī)格、狀態(tài)和卷或垛的重量，并按要求填寫記錄。

2.裝載時(shí)，必須正確安裝退火機(jī)。線圈基本上下左右對(duì)稱，線圈之間的間隙基本相同。不允許超重、超長、超寬、超高。退火時(shí)，卷與垛之間的重量差應(yīng)盡可能小（卷與卷之間的重量差小于1 T，垛與垛之間的重量差小于0.5T）。在特殊情況下，考慮到裝爐的經(jīng)濟(jì)性，不同厚度和重量的成品可以在一個(gè)爐內(nèi)退火，但溫度必須分區(qū)控制。當(dāng)有重量差異時(shí)，熱電偶應(yīng)插入小卷或堆疊中。

3.正確安裝熱電偶。熱電偶的插入深度，線圈為25 ~ 30 mm，平板為≮50mm。其插入位置必須位于卷或堆的中心，要求插入牢固，無漏氣或短路。

4.打開烤箱門。首先，松開爐門壓緊裝置，將爐門提升到上限位置，插入安全銷。

5、入退火機(jī)過程。

（1）10T爐應(yīng)先插入臺(tái)車和材料車間的銷子，然后啟動(dòng)臺(tái)車，將箕斗推入爐膛，箕斗停在原位后拔出銷子，最后將臺(tái)車從爐膛停止在原來的位置。

（2）2）20T爐應(yīng)接通卸料車電源，啟動(dòng)油泵電機(jī)，用升降機(jī)構(gòu)將裝有工件的料盤升至上限位置，然后將卸料車開入爐內(nèi)至正確位置，將料盤放在爐內(nèi)立柱上。料盤穩(wěn)定后，將卸車車開出爐外，停在原位置，關(guān)閉油泵和卸車車電源。

6.關(guān)上烤箱門。車停穩(wěn)后，拔出爐門保險(xiǎn)銷，將爐門降至下限位置，用氣缸按壓爐門。爐門壓緊均勻，密封良好，無明顯漏氣現(xiàn)象。

7.放電過程的操作程序與充電過程相反。

三、退火機(jī)溫度控制系統(tǒng)操作規(guī)程

1、應(yīng)首先確認(rèn)退火機(jī)門關(guān)閉密封完好，檢查電氣系統(tǒng)正常，方可操作。

2.逐個(gè)啟動(dòng)各個(gè)區(qū)域的軸流風(fēng)機(jī)。

3.啟動(dòng)各區(qū)域循環(huán)風(fēng)機(jī)，待電機(jī)電流穩(wěn)定后再啟動(dòng)另一臺(tái)風(fēng)機(jī)，確保各區(qū)域風(fēng)機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行。

4.根據(jù)生產(chǎn)工藝卡的工藝要求，在溫控智能表上輸入工藝控制參數(shù)。

5.打開排氣閥，啟動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)。（10T爐排氣煙道無閥門）

6.打開退火機(jī)加熱器的電源開關(guān)，按照規(guī)定的溫度曲線進(jìn)行控制退火。

7.退火機(jī)退火時(shí)要經(jīng)常檢查電器和機(jī)械的運(yùn)行情況，如加熱器、循環(huán)風(fēng)機(jī)、軸承等。

8.退火機(jī)退火時(shí)注意各區(qū)域金屬的溫升，操作人員可根據(jù)具體情況（一般在10℃左右）在小范圍內(nèi)調(diào)節(jié)爐氣溫度，以保證各區(qū)域溫度一致。

9.如果金屬溫度在規(guī)定時(shí)間內(nèi)超過金屬溫度上限，可以適當(dāng)冷卻。如果沒有達(dá)到金屬溫度的下限，可以延長保持時(shí)間，直到達(dá)到金屬溫度極限。